氧化锌铝（AZO） ,是铝掺杂的氧化锌（ZnO）透明导电玻璃的简称。在ZnO体系中掺杂Al得到ZnO：Al透明导电薄膜，即AZO薄膜，掺杂后薄膜导电性能大幅度提高，电阻率可降低到10-4 ohm·cm，而且透明导电薄膜AZO薄膜在氢等离子体中稳定性要优于ITO，同时具有可同ITO相比拟的光电特性，而且AZO薄膜的制备方便，元素资源比In元素丰富，且无毒，逐渐成为ITO薄膜最佳替代者，AZO薄膜已经在平板显示器和薄膜太阳能电池中得到了部分应用。制备AZO薄膜的方法有很多种，主要有磁控溅射法、金属有机物化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、喷雾热分解法、分子束外延法及溶胶一凝胶法等。其中，磁控溅射法制AZO薄膜具有较高的沉积速率、低的衬底温度和良好的衬底粘附性等优点而被广泛的应用。

一、主要用途：

AZO薄膜的制备方便，元素资源比In元素丰富，且无毒，逐渐成为ITO薄膜最佳替代者，AZO薄膜已经在平板显示器和薄膜太阳能电池中得到了部分应用。

二、适用领域：

蒸发镀膜

A.适用设备：蒸发镀膜设备、电子束蒸发镀膜设备等

B.适用设备品牌：国产品牌：中科科仪，金盛微纳，沈阳科仪等

进口品牌：爱发科，lesker，TOKKI，ULVAC，ULVAC，韩国SNU和SUNIC等

C. 适用规格：99.99% 1-3mm

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